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    關于優造

    快速熱退火爐是用什么原理退火的

      關于生產設備中的加熱爐和退火爐原理講解,快速熱退火爐的工作原理是什么,退火爐也即是讓某些高熱材料進行快速降溫,使其鋼或鐵材料迅速定型,而生產的一款設備,這種快速熱退火爐設備在很多生產配件廠都有配備。

      優造節能快速熱處理,是在非常短的時間內將整個硅片加熱至400~1300℃溫度范圍內的一種方法,相對于爐管退火,它具有熱預算少,硅中雜質運動小,玷污小和加工時間短等特點。

    快速熱退火爐

    快速熱退火爐



      快速熱退火爐工作原理:

      往半導體中注入雜質離子時,高能量的入射離子會與半導體晶格上的原子碰撞,使一些晶格原子發生位移,結果造成大量的空位,將使得注入區中的原子排列混亂或者變成為非晶區,所以在離子注入以后必須把半導體放在一定的溫度下進行退火,以恢復晶體的結構和消除缺陷。同時,退火還有激活施主和受主雜質的功能,即把有些處于間隙位置的雜質原子通過退火而讓它們進入替代位置。



      快速退火爐的快速熱處理技術是發展很快的半導體工藝新技術。優造節能設備具有升溫速度快、密封好、溫度范圍寬、實驗方便等特點??捎糜诠杓盎衔锇雽w材料離子注入后的退火,硅化物的形成,歐姆接觸制備以及快速氧化,快速氮化等方面。

    快速熱退火爐

    快速熱退火爐



      快速熱退火爐參數:

      內膽尺寸:寬530*深430*高220mm,外形尺寸(約):寬920 *深900 *高740 mm。溫度范圍:室溫~+450℃可調(根據加熱板實際熱承受能力而定),加熱方式:采用鑄鋁加熱板,溫度波動度:≤±1℃。溫度均勻度:測溫探頭的精度為±0.5℃,控溫點在加熱板上部對角兩點及測溫的側面一點, (恒溫空載狀態下)(加熱板的溫度均勻性±1℃)。升溫速率:≤8℃/min .空載時升溫速度:室溫到200℃在8分鐘內到達,外殼溫度溫升不超過環境+25℃門周邊除外。電源三相五線制、380V、50HZ??偣β?0KW,使用功率16KW。外殼材料外層A3厚2.0冷板。內膽材料采用5mm厚SUS304不銹鋼板制作。



      (半導體)快速退火爐的保溫材料:采用1400型纖維毯保溫,具有不可燃燒,隔熱性強等特點,厚度為60mm。煙氣隔離罩爐體左右后三個面用亞克力板圍起來,爐體正面做對開式門,四周用玻璃膠密封,開爐時可讓煙氣有效排除。密封材料密封條采用直徑10mm發泡硅膠條制作,可耐溫不變形,門與內膽采用單層密封形式,加強密封效果。門上配兩個圓形觀察窗,爐門密封圈不易老化和燒壞,真空門裝有電腦控制氣缸開啟和關閉(閉合傳感器,確定門關閉)可90度運動。觀察窗采用圓形觀察窗口,觀察窗直徑80,生產過程一目了然。



      使用快速熱退火爐可以讓某些高溫配件進行快速降溫,這讓很多配件廠家提高了很多產量,比起以往用水降溫的方法要快捷安全許多。










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