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    快速熱退火設備工藝和原理介紹

      優造節能快速熱退火設備是什么原理,快速熱退火又能起到什么作用呢,接下來為大家講解一下關于退火的原理,快速熱退火設備也即是讓一些高溫的材料快速降溫,達到材料成型的作用,所以,這個退火設備在很多工廠都是必不可少的設備。

    快速熱退火設備

    快速熱退火設備



      快速熱退火技術介紹:

      優造節能快速熱退火 (RTA)技術指的是將晶片,從環境溫度快速加熱至約1000–1500K,晶片達到該溫度后會保持幾秒鐘,然后完成淬火。這種技術主要被應用于薄膜晶體管、太陽電池等器件生產過程中的摻雜、點缺陷退火、雜質激活等高溫( >700 ℃)過程。在低溫器件,如玻璃襯底的多晶硅薄膜太陽電池應用中也具有很大的潛力 。



      固相晶化非晶硅(a- S i)薄膜法是一種最常見的間接制備多晶硅薄膜方法 。這種技術的優點是能實現薄膜大面積化,且工藝簡單 。但傳統的電熱爐退火進行固相晶化時,晶化時間長達幾個至幾十個小時,耗能及制造成本高 。而采用 RTA,在較高溫度下幾分鐘內就可使非晶硅晶化,而且晶化后的多晶硅膜缺陷較少、內應力小。

    快速熱退火設備

    快速熱退火設備



      快速熱退火設備:

      快速熱退火 (RTA)技術指的是將晶片從環境溫度快速加熱至約1000–1500K,晶片達到該溫度后會保持幾秒鐘,然后完成淬火。這種技術主要被應用于薄膜晶體管、太陽電池等器件生產過程中的摻雜、點缺陷退火、雜質激活等高溫( >700 ℃)過程。在低溫器件,如玻璃襯底的多晶硅薄膜太陽電池應用中也具有很大的潛力 。



      固相晶化非晶硅(a- S i)薄膜法是一種最常見的間接制備多晶硅薄膜方法 。這種技術的優點是能實現薄膜大面積化,且工藝簡單 。但傳統的電熱爐退火進行固相晶化時,晶化時間長達幾個至幾十個小時,耗能及制造成本高 。而采用 RTA,在較高溫度下幾分鐘內就可使非晶硅晶化,而且晶化后的多晶硅膜缺陷較少、內應力小。



      在某些領域快速熱退火設備是必不可少,不僅可以快速提高產品的質量,而且能讓退火時間降到最低,這樣產品的產量也就上去了。























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